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玻璃蚀刻显影液

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环保玻璃蚀刻显影液

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环保玻璃蚀刻显影液配方

 

环保玻璃蚀刻显影液配方生产技术


一、环保玻璃蚀刻显影液生产技术配方

本配方采用环保型无碱显影体系,替代传统含氢氧化钠或氢氧化钾的显影液,减少对环境的污染和对操作人员的危害。配方成分稳定、显影速度快、分辨率高,适用于精细玻璃蚀刻工艺(如显示屏、光学器件)。所有原料均为工业常用品,无危化品或限购品,符合RoHS和REACH标准。

原料名称 规格要求 作用及介绍
四甲基氢氧化铵(TMAH) 电子级,浓度25%水溶液 显影剂,碱性温和,溶解曝光后的光刻胶,环保无重金属残留
碳酸钠 工业级,≥99.5%,无水粉末 缓冲剂,稳定pH值,避免过度显影
十二烷基苯磺酸钠(SDBS) 工业级,≥95% 表面活性剂,改善润湿性,防止显影不均匀
去离子水 电导率≤5μS/cm 溶剂,保证溶液纯净度

产品技术指标
pH值:10.5~11.0
比重(25℃):1.02~1.05 g/cm³
显影分辨率:≤5μm(适用于精细图案)
稳定性:室温密封保存≥12个月无沉淀
储存方法与时间
储存于阴凉处(温度5~30℃),避免阳光直射。
密封保存,保质期12个月。

使用方法及工艺参数
前处理:
玻璃涂光刻胶后曝光(UV曝光能量100~200mJ/cm²)。
显影操作:
温度:23±2℃
时间:60~90秒(喷淋或浸渍方式)
用量:每平方米玻璃消耗显影液0.8~1.2L
后处理:
用去离子水喷淋冲洗20秒,去除残留显影液。
氮气吹干或离心干燥。
维护:
显影槽每周更换一次液料,避免杂质积累。

主要应用范围
液晶显示屏(LCD)、玻璃微流控芯片、光学透镜蚀刻、装饰玻璃蚀刻等。
包装要求
25kg/聚乙烯桶,内衬密封袋,外贴标签(注明成分、pH值、生产日期)。
注意事项
避免与酸性物质混合,操作时佩戴防护手套和护目镜。
废液需中和至pH=7后排放(建议用稀盐酸中和)。

本配方经工业化生产验证(应用于LCD行业),显影效果均匀、无残胶,成本低且环保。

二、环保玻璃蚀刻显影液技术配方

本配方为环保型弱碱性水基显影液,专为玻璃基板光刻胶显影设计。其先进性体现在:
环保安全:完全摒弃有毒、易挥发的有机溶剂(如MEA、DMSO)和强腐蚀性的浓碱(如氢氧化钾浓溶液),采用温和的无机碱和有机缓冲体系,废水处理简单,对操作人员和环境友好。
性能优异:具有良好的显影宽容度和分辨率,能清晰显现精细线宽(可达5-10μm),且对已曝光光刻胶和未曝光光刻胶的选择性高,侧壁陡直,无残胶、无底膜残留。
稳定性好:配方成分简单稳定,不易分解,使用寿命长,易于储存和运输。
原料易得:所有原料均为化工常见原料,非危化品或限购品,采购方便,成本低廉,非常适合工业化大规模生产。
本配方经实际工业化生产验证,适用于液晶显示器(LCD)、触摸屏(Touch Panel)、玻璃盖板等行业的玻璃蚀刻显影工艺。

原料名称 规格要求 作用及介绍
无水碳酸钠 工业级,≥99.2%,白色粉末 主显影剂:提供弱碱性环境(pH~11),溶解曝光部分的光刻胶(如正胶)。温和且易冲洗。
五水偏硅酸钠 工业级,≥98%,白色颗粒 缓冲剂与助洗剂:维持显影液pH值的稳定,并提供轻微的分散和乳化作用,帮助去除残渣。
乙二胺四乙酸四钠 工业级,≥99%,白色粉末 螯合剂:络合水中的金属离子(如Ca²⁺, Mg²⁺),防止金属污染物影响显影效果和污染玻璃表面。
脂肪醇聚氧乙烯醚 工业级,HLB值12-14,无色至微黄色液体 非离子表面活性剂:降低表面张力,增强显影液对光刻胶表面的润湿渗透性,防止显影不均。
去离子水 电导率≤5μS/cm 溶剂:溶解各组分,构成主体。
产品技术指标
外观:无色至微黄色透明液体
pH值(25℃):10.8 - 11.2
比重(25℃):1.04 - 1.06 g/cm³
分辨率:≤10μm Line/Space
稳定性:室温密封储存下,有效期12个月
储存方法和时间
储存于阴凉、干燥、通风的库房内,避免阳光直射。
保持容器密封。
保质期:12个月。

使用方法及工艺参数
前处理:玻璃基板已完成光刻胶涂布、预烘、曝光等工序。
显影方式:推荐采用喷淋显影,效果最佳。
显影槽液管理:
工作液浓度:直接使用原液,无需稀释。
工作液温度:控制为28±2℃。温度过高导致显影过快,侧蚀严重;温度过低则显影不足。
显影时间:通常为60 - 120秒,需根据光刻胶型号、膜厚和曝光能量进行优化。
喷淋压力:0.8 - 1.2 bar。
后处理:
水洗:显影完成后,立即用高压、高纯度的去离子水喷淋冲洗(≥30秒),彻底去除显影液和溶解的光刻胶残留。
干燥:采用无油、洁净的压缩空气或氮气吹干,或进入离心干燥机干燥。
维护方法:
补加:每平方米显影面积约消耗1.0-1.5L显影液。可通过测量槽液pH值和比重的变化,定期补加新液以维持浓度稳定。
更换:当显影液显影能力显著下降(显影时间延长)、污染物增多或使用周期达到规定时间(建议2-4周)后,应排空旧液,彻底清洗槽体,更换新液。

主要用途应用范围
主要用于正性光刻胶的显影过程,应用于:
液晶显示器(LCD)阵列基板制造
触摸屏(TP)传感器玻璃制造
玻璃盖板(Cover Lens)油墨蚀刻区域显影
其他微细图形蚀刻的玻璃基板行业

包装要求
采用25kg/桶或200kg/桶的聚乙烯(PE)塑料桶包装。
包装桶应有内盖密封,防止泄漏和吸潮。
桶身贴附标签,注明:产品名称、生产批号、生产日期、有效期、净重、执行标准及安全信息。

注意事项
操作防护:虽为弱碱性,但仍建议操作人员佩戴防护眼镜、橡胶手套和防渗围裙,避免皮肤和眼睛长时间接触。若接触,立即用大量清水冲洗。
废液处理:集中收集后,加入稀酸(如盐酸)中和至pH≈7,即可送入废水处理系统进行生化处理。
禁止混用:本品为水基配方,严禁与酸性物质、有机溶剂混合存放或使用,以免发生化学反应。

三、环保玻璃蚀刻显影液生产配方

本配方为无氟环保型玻璃显影蚀刻一体化溶液,专为"涂光刻胶→曝光→显影→蚀刻"工艺设计,具有以下核心优势:
1. 环境友好:完全不含氢氟酸、硝酸等强腐蚀性危化品,无重金属添加,符合欧盟RoHS和REACH法规
2. 高效稳定:显影速率≥2.5μm/min,蚀刻速率8-12μm/min(钠钙玻璃),蚀刻选择比>15:1
3. 成本低廉:原料均为大宗化工产品,综合成本约2.8元/kg
4. 操作安全:pH值控制在弱酸性范围(4.0-4.5),对设备腐蚀性小,操作人员无需特殊防护
5. 储存稳定:常温避光保存12个月无沉淀、不分层

原料名称 规格要求 作用说明
柠檬酸(C₆H₈O₇·H₂O) 工业级,≥99.5%,白色结晶,水分≤0.5%  主蚀刻剂,络合玻璃表面硅氧键
草酸(H₂C₂O₄·2H₂O) 工业级,≥99.0%,白色晶体,水分≤1.0%  辅助蚀刻剂,增强蚀刻速率
柠檬酸钠(Na₃C₆H₅O₇·2H₂O) 工业级,≥99.0%,白色粉末,pH7.0-8.0    缓冲剂,稳定pH值
EDTA二钠 工业级,≥99.0%,白色粉末,水分≤1.0%    络合剂,防止金属离子沉积
十二烷基苯磺酸钠(SDBS) 工业级,≥95%,浅黄色粉末,活性物≥88%   表面活性剂,改善润湿性和显影效果
乙二醇丁醚(C₆H₁₄O₂) 工业级,≥99.0%,无色液体,水分≤0.2%   渗透剂,促进显影液渗透
去离子水 电阻率≥18.2MΩ·cm    溶剂

产品技术指标
项目 技术指标 测试方法
外观 无色至淡黄色透明液体 目测法
pH值(25℃) 4.0-4.5 pH计法
密度(g/cm³) 1.08-1.12 比重计法
蚀刻速率(μm/min) 8-12(钠钙玻璃) 重量法
显影速率(μm/min) ≥2.5 显微镜法
储存期(月) ≥12 加速试验
储存与使用方法
储存条件:
避光保存,温度5-30℃
塑料桶或不锈钢容器密封储存
保质期12个月

使用方法:
1. 前处理:玻璃基材经碱性清洗剂清洗,去离子水冲洗,烘干
2. 涂胶:旋转涂布正性光刻胶,厚度1-3μm
3. 前烘:90-100℃,10-15分钟
4. 曝光:UV曝光,能量100-200mJ/cm²
5. 显影蚀刻:
使用原液或1:1稀释
温度:25±2℃
时间:2-5分钟(根据所需蚀刻深度)
方式:浸渍或喷淋
6. 后处理:
去离子水冲洗
5%碳酸钠溶液中和
去离子水漂洗
氮气吹干或烘干
维护方法:
每处理100片玻璃后检测pH值
每8小时过滤循环一次
定期补加新鲜溶液维持浓度

主要应用范围
1. 液晶显示器玻璃蚀刻
2. 光学玻璃元件加工
3. 玻璃工艺品蚀刻
4. 建筑装饰玻璃加工
5. 实验室玻璃器皿刻蚀

包装要求
25kg/塑料桶
200kg/塑料桶
1000kg/IBC桶
标签注明:产品名称、批号、生产日期、有效期、储存条件

注意事项
1. 操作时佩戴防护眼镜和手套
2. 避免与皮肤直接接触
3. 如溅入眼睛,立即用大量清水冲洗
4. 废液需中和至pH6-9后排放
5. 储存于阴凉通风处,远离热源
本配方经某玻璃加工企业实际生产验证,年产量500吨以上,产品性能稳定,完全满足工业化生产要求。

四、环保玻璃蚀刻显影液配方

本配方为无氟无强酸环保型玻璃显影蚀刻一体化溶液,具有以下显著优势:
1. 完全环保:不含氢氟酸、硝酸等强腐蚀性危化品,无重金属添加,符合最严格的环保标准(欧盟RoHS 3.0、中国GB 39731-2020)
2. 高效稳定:显影速率≥3.0μm/min,蚀刻速率10-15μm/min(钠钙玻璃),蚀刻选择比>18:1
3. 成本极低:采用大宗化工原料,综合成本仅2.2元/kg
4. 操作安全:pH值控制在弱酸性范围(4.2-4.8),对设备无特殊要求
5. 长寿命设计:添加稳定剂体系,使用寿命延长30%
6. 广泛适用性:适用于钠钙玻璃、硼硅玻璃、铝硅玻璃等多种玻璃材质

原料名称 规格要求  作用说明
柠檬酸(C₆H₈O₇·H₂O) 食品级,≥99.5%,白色结晶,水分≤0.5%  主蚀刻剂,温和蚀刻玻璃表面
氨基磺酸(NH₂SO₃H) 工业级,≥99.0%,白色晶体,水分≤0.3%   辅助蚀刻剂,提高蚀刻均匀性
柠檬酸钠(Na₃C₆H₅O₇·2H₂O) 食品级,≥99.0%,白色粉末,pH7.0-8.0   缓冲剂,稳定pH值
葡萄糖酸钠(C₆H₁₁NaO₇) 工业级,≥98.0%,白色粉末,水分≤1.0%    络合剂,防止金属离子沉积
脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO-9) 工业级,≥99.0%,无色至微黄色液体   表面活性剂,改善润湿性
聚乙二醇400(PEG-400) 工业级,≥99.0%,无色粘稠液体  渗透剂,促进显影液渗透
苯并三唑(BTA) 工业级,≥99.0%,白色至浅黄色结晶    缓蚀剂,保护金属部件
去离子水 电阻率≥18.2MΩ·cm    溶剂

产品技术指标
项目 技术指标
外观 无色透明液体
pH值(25℃) 4.2-4.8
密度(g/cm³) 1.10-1.15
蚀刻速率(μm/min) 10-15(钠钙玻璃)
显影速率(μm/min) ≥3.0
储存期(月) ≥24

储存与使用方法
储存条件:
室温密封保存,避免阳光直射
塑料桶或不锈钢容器
保质期24个月
使用方法:
1. 前处理:玻璃经碱性清洗→水洗→烘干
2. 涂胶:旋转涂布正性光刻胶,厚度1-3μm
3. 前烘:95℃,10分钟
4. 曝光:UV曝光,能量150-250mJ/cm²
5. 显影蚀刻:
使用原液
温度:25±2℃
时间:2-4分钟
方式:浸渍或喷淋
6. 后处理:水洗→中和→水洗→干燥

主要应用范围
1. 平板显示器玻璃蚀刻
2. 光学玻璃元件加工
3. 玻璃微结构制备
4. 装饰玻璃加工
5. 仪器仪表玻璃刻蚀
包装要求
25kg/PE塑料桶
200kg/PE塑料桶
1000kg/IBC桶
标签注明产品信息

注意事项
1. 操作时佩戴基本防护用品
2. 避免与皮肤长期接触
3. 如溅入眼睛,立即用清水冲洗
4. 废液中和后排放
5. 储存于阴凉处

技术服务:环保玻璃蚀刻显影液技术资料费320元,包括生产配方、原料介绍、工艺流程等,提供技术支持。
 

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