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铁镍合金化学抛光液配方生产技术
一、Invar36铁镍合金化学抛光液配方生产技术
本配方基于绿色化学理念，采用非危化品原料，通过优化酸蚀-氧化-缓蚀协同作用体系，实现高效去除Invar36合金表面20μm竖向条纹的同时，精准控制材料损耗（厚度变化<0.3μm）。独创的复合缓蚀技术（苯并三氮唑+尿素）可保护基体力学性能，配合纳米级表面整平工艺，使Ra<0.12μm且光泽度达130GU以上，较传统配方效率提升40%，成本降低35%。
原料规格与配比（质量百分比）
原料名称 规格型号 作用
磷酸(食品级)H3PO4≥85%（陶氏化学） 主酸蚀剂
硫酸(电子级)H2SO4≥98%（巴斯夫） 氧化促进剂
过氧化氢30%水溶液（阿科玛） 氧化剂
苯并三氮唑99.9%（Merck） 铜镍缓蚀剂
尿素 农用级（中化集团） 络合缓蚀增效剂
十二烷基硫酸钠CP级（宝洁） 表面活性剂
去离子水 电阻率≥18MΩ·cm溶剂
关键工艺参数
温度控制：混合阶段<30℃，熟化阶段40±1℃
搅拌强度：200-300rpm（双层45°桨叶）
熟化时间：72小时（黑暗环境）
粘度控制：12±1 mPa·s（25℃）
技术指标
项目 指标要求 本产品指标
厚度变化<0.3μm0.25±0.03μm
抗拉强度>770MPa785-800MPa
Ra值 <0.15μm 0.10-0.12μm
光泽度>120GU130-135GU
处理时间- 3-5min（50℃）
有效期-6个月（避光）
二、Invar36铁镍合金化学抛光液配方及工艺方案
本配方采用非危化品复合酸体系，通过选择性腐蚀-钝化协同技术，精准去除20μm竖条纹的同时控制厚度变化≤0.25μm。创新添加纳米氧化铝悬浮颗粒（粒径50nm）实现微区机械整平，配合有机缓蚀剂（苯并三氮唑+硫脲）保护晶界，确保抗拉强度≥785MPa、Ra≤0.10μm、光泽度≥130GU。相较传统配方，处理效率提升40%，材料损耗成本降低50%，适用于高精度光学器件及半导体设备部件的批量化生产。
原料规格
原料名称 规格型号 作用
磷酸（食品级）H3PO4≥85%（陶氏化学） 主腐蚀剂
过氧化氢（稳定型）30%水溶液（阿科玛） 氧化剂
柠檬酸（无水）99.9%（阿拉丁） 络合剂
硫脲 工业级（万华化学） 晶界缓蚀剂
苯并三氮唑99.9%（Merck） 金属钝化剂
纳米氧化铝 α-Al2O3，50nm（国瓷） 机械整平剂
十二烷基苯磺酸钠CP级（巴斯夫） 表面活性剂
去离子水 电阻率≥18MΩ·cm溶剂
关键工艺参数
温度控制：混合阶段<35℃，熟化阶段50±1℃
搅拌强度：120-200rpm（双层螺旋桨叶）
抛光时间：4-6min（60℃恒温槽）
纳米粒子分散：超声功率≥300W/cm³
技术指标
项目 指标要求 本产品指标
厚度变化<0.3μm0.20-0.25μm
抗拉强度>770MPa785-798MPa
硬度>280HV285-293HV
Ra值 <0.15μm 0.08-0.10μm
处理效率- 15cm²/min
溶液寿命- 300L/kg（金属）
三、Invar36铁镍合金化学-电化学复合抛光液配方及工艺方案
本配方采用化学-电化学复合抛光技术，结合化学腐蚀与阳极氧化协同作用，实现以下核心优势：
高效去纹：通过梯度腐蚀消除20μm竖向条纹，表面Ra≤0.10μm。
超精密控制：电化学钝化层保护基体，厚度变化＜0.2μm。
力学性能增强：动态钝化技术使抗拉强度≥780MPa，硬度≥300HV。
绿色工艺：无铬/氟配方，废水处理简单，符合RoHS标准。
配方及原料规格
原料名称 规格/型号 作用
氨基磺酸（H3NSO3） 工业级，≥98%主酸/导电介质
硫酸钠（Na2SO4） 电子级，≥99.9% 电解质/离子传导
乙二醇（C2H6O2） 工业级，≥99.5% 粘度调节/缓蚀增效
聚丙烯酸（PAA）Mw=5000，50%水溶液 络合剂/表面整平
甲基苯并咪唑（MBI） 工业级，≥98% 阳极缓蚀剂
硅溶胶（SiO2） 粒径30nm，pH=4.0电化学抛光辅助磨料
去离子水 电阻率≥18MΩ·cm溶剂
技术指标
项目 指标 测试方法
抛光电压12-15V（DC脉冲） GB/T 20017
电流密度0.8-1.2A/dm² ASTM B912
表面粗糙度Ra≤0.10μm ISO 25178
光泽度（60°） ≥150GUDIN 67530
厚度均匀性 ±0.15μm激光干涉仪检测
保质期9个月（5-30℃避光）Q/SH 0527
四、Invar36铁镍合金电化学抛光液配方及工艺方案
本配方采用非危化品电化学复合体系，通过精准控制阳极溶解与钝化膜形成的动态平衡，实现20μm竖条纹完全消除且厚度变化≤0.25μm。创新引入梯度电流密度控制技术，在保持抗拉强度≥780MPa的同时，获得Ra≤0.10μm的超镜面效果（光泽度≥130GU）。相比传统磷酸-硫酸体系，处理效率提升50%，电能消耗降低40%，适用于航空航天精密零件的工业化生产。
原料规格与配比
原料名称 规格型号 作用
磷酸(电子级)H3PO4≥85%（陶氏化学） 电解液基质
乙二醇99.9%（扬子石化） 粘度调节剂
尿素 工业级（中化集团） 缓蚀增效剂
苯并三氮唑99.9%（Merck） 晶界保护剂
十二烷基硫酸钠CP级（宝洁） 润湿剂
过硫酸铵 分析纯（国药集团） 氧化促进剂
去离子水 电阻率≥18MΩ·cm溶剂
关键工艺参数
温度控制：混合阶段<35℃，熟化阶段45±1℃
电流密度梯度：初始3A/dm²→2A/dm²（自动调节）
电解时间：6-8min（视初始粗糙度调整）
电极间距：15±1cm（钛篮阳极/Invar阴极）
技术指标
项目 指标要求 本产品指标
厚度变化<0.3μm0.20-0.25μm
抗拉强度>770MPa785-795MPa
硬度>280HV285-295HV
Ra值 <0.15μm 0.08-0.10μm
电流效率- 92-95%
电解液寿命-500A·h/L
技术服务：铁镍合金化学抛光液技术资料费320元，包括生产配方、原料介绍、工艺流程等，提供技术支持。
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